在精密零件加工过程中，对于轴系径向回转精度测量，国际机械生产技术研究协会(CIRP)规定用一个精密钢球调装在轴系的回转中心上，为了消除钢球安装误差采用两个位移传感器互成90°同时测量钢球的偏摆。经电气滤掉一次谐波，此值就是轴系的径向误差运动精度。图2-51所示为回转轴系径向精度的测量。

在精密零件加工厂，一般用非接触电容式测微传感器，测量的结果实质上就是旋转轴中心的误差运动轨迹。同理，把精密钢球换成一个反射镜可以测量轴系的倾角误差运动的精度。这种用两个测微传感器互成90°的安装处理，把由于精密钢球或反射镜的安装误差引起的一次谐波去掉了。

但是，也把由于轴系本身的弯曲、两轴颈同轴度误差、主轴上顶尖安装的同轴度误差和倾斜度误差而造成的不应去掉的一次谐波误差也去掉了，可能会因小失大。所以，对精密钢球或反射镜要精细调整到误差最小，用一个测量微仪在一个方向测量是最好的方法。

在CNC精密零件加工生产实际中用测微仪（电感式、电容式等）直接于轴系径向测得径向值，于轴向测得轴向值，于顶尖的锥面上测得径向和轴向的综合值。